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機械設備
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近年來,水冷螺桿泵和下節中描述的多級羅茨泵已經取代越來越多的先前在高抽速段(100–600m3·h-1)中占主導地位的油潤滑旋片式真空泵。螺桿泵的優勢包括:■■在氣體置換區域沒有潤滑劑■■被泵送介質無...
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產品組合概覽HeptaDry是干式螺桿泵,用于要求高體積流量的低、中真空范圍。該產品系列的抽速范圍從100到600m3·h-1。可實現低于0.1hPa的極限壓力。其抽速和可達到的z*終壓力取決于電源頻率。具有連接和配件...
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單級和多級羅茨泵屬于空運行旋轉排量真空泵的范疇。它們也被稱為羅茨泵或羅茨鼓風機。本章描述的多級羅茨泵屬于ACP范圍(阿迪克森清潔泵)。在一個泵中,兩個同步反向旋轉的轉子(1)在單個殼體中非接觸旋轉(圖4.9)。...
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ACP范圍內的干式、風冷式多級羅茨泵因其涉及和性能參數,通常可直接用于替代可用抽速范圍內的油潤滑旋片式真空泵。多級羅茨泵的優勢包括:■■在氣體置換區域沒有潤滑劑■■被泵送帶有油或離子的介質無任何污染■■...
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ACP是風冷、干式多級羅茨泵,應用于低、中真空范圍。該產品的抽速范圍從14到37m3·h-1。可實現低于0.1hPa的極限壓力。其抽速和可達到的z*終壓力取決于通過變頻器選擇的轉速。不管所涉及的是什么型號,ACP泵可...
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Table4.14中顯示的版本可配置三相或單相電源連接。不論電源電壓和頻率如何,所有的泵都配有變頻器。
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粒子過濾器(IPF)如果存在過程相關的粉塵和粒子,泵必須配有上游粒子過濾器,以防止泵堵塞。可提供各種類型,以適合于泵上的連接法蘭。有效過濾網孔為25m。根據要求,可提供其他過濾器類型和網孔尺寸。消聲器(ES)出...
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在半導體行業中,微電子元件構建在單晶體的平面上。在生產過程中,具有特定電性能(絕緣子、導體和具有一定導電性能的層)的層被應用在彼此的頂部。由于相鄰層的不同性能,創造了諸如晶體管、電容器、電阻器等電子元件...
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在該泵中,兩個同步反向旋轉的轉子(1)在單個殼體(2)中非接觸旋轉(Figure4.11)。該轉子具有8字形結構,且相互之間由窄間隙分離開來。有四到六對轉子位于轉子軸上。每個轉子腔通過帶有噴氣口的定子盤與其他轉子分離開...
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腐蝕性氣體版本的多級羅茨泵的優勢包括:■■通過調節溫度、凈化氣體吞吐量和轉速對相關真空工藝進行理想的調節■■在氣體置換區域沒有潤滑劑■■無工作液處理問題■■高可靠性和系統正常運行時間■■長維修間隔、...
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預真空鎖和非腐蝕性氣體ACP120是水冷式多級羅茨泵的入門級機型。ACP系列泵不適合于抽空大量的腐蝕性氣體。然而,ACP系列泵至少可用于處理少量的腐蝕性氣體。在這種情況下,使用惰性氣體,其中,采用惰性氣體幕保護軸...
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在涂層工藝中,特別是在平面屏幕半導體生產和太陽能行業中,如本章介紹中所說明的一樣,真空泵的耐蝕性具有重要的意義。除工藝兼容性外,占用空間小和低運營成本是特別重要的泵體參數。與先前型號相比,P系列通過降低...
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化學工藝的持續發展,特別是在半導體和太陽行業中,對所用真空泵不斷地提出新的要求。基于多級羅茨泵的可靠技術,普發真空憑借其H系列為這些行業領域中的苛刻工藝提供完美的解決方案。與先前泵解決方案相比,過程壓力...
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地震托架套件地震托架套件使泵能夠固定在其操作位置上,并防止因地震產生的位移以及防止前真空管道脫落。遙控遙控允許在泵的集成存儲器上設置和保存泵參數。泵參數可實時顯示。接口泵和系統控制之間可配置定制接口...
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工作原理單級羅茨泵的工作原理相當于第4.5節中描述的多級羅茨泵的工作原理。在羅茨真空泵中,兩個同步反向旋轉的轉子(4)在殼體中非接觸旋轉(Figure4.16)。該轉子具有8字形結構,且相互之間以及與轉子之間由窄間隙分...
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