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機械設備
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這是在1916年z*早發明的一種電離規。在圖11-37中，規管中心熱陰極F的電位為零，柵極G的電位Vg為正，收集極C的電位V。為負。從F上發射的電子在Vg的作用下飛向G，越過G趨向C，在G-C之間的拒斥場作用下電子逐漸減速，在速...
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圓筒型電離規的測量上限為O.1Pa。高于此壓力，離子流與氣體壓力之間的關系就要嚴重地倔離線性。這是由以下三個限制因素所造成的：①隨著壓力增高，由于氣體分子密度增大，電子的平均自由程變短，在兩次碰撞之間電子從...
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我國生產的DL-5型中真空電離規(圖11-40)采用盒式結構，離子流I+與壓力p之間，在54Pa～范圍內呈線性關系。各極電參數為：陽極電位Va=170V，收集極電位Vc=0，陰極電位Vf=54V;在54Pa~時，Ie=50yA;在~時，Ie=。此規采用敷氧化...
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我國生產的DL-8型中真空電離規采用了新的電極結構（圖11-42），兩塊間距為d1的平行板C作為離子收集極，中心平面有四根相距為d2的絲狀電極，K為陰極（敷氧化釔—依絲），A為陽極，兩側為輔助電極S。用改變輔助電極上負...
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圓筒型電離規的測量下限約為1×，如果低于此壓力，由于X射線的作用，會使離子流I+與壓強p之間的關系嚴重偏離線性。電離規的柵極在接受具有一定能量的電子流以后，要發射軟X射線，此軟X射線照射到離子收集極上，又...
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B-A規具有很多優點：量程寬、瀏量下限低、電極結構容易除氣等，因而是一種優良的超高真空規。B-A規與圓筒型電離規相比有如下缺點：①B-A規的燈絲裝在柵網外側，兩者之間距離很小（幾毫米），因此燈絲安裝尺寸的精度對規...
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真空—定義真空的通俗定義是指空間中的壓力低于大氣壓力時所產生的狀態。這些壓力可通過均勻分布在該空間的氣體或蒸汽來產生。真空的標準定義是“氣體密度在容器中的壓力低于周圍環境大氣壓或者低于30...
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真空壓力的定義是垂直作用于表面上且均勻分布的力與單位面積之比。公式1-3：壓力定義：P壓力[Pa]；F受力[N];1N=1Kgms-2；A面積[m2]在封閉的容器中，氣體顆粒進行熱運動。在其與容器壁的相互作用中，原子和分子經受大量...
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每種材料都是由原子和分子組成。根據定義，物質的量以摩爾表示。一摩爾的物質含有6.022·1023個構成粒子（阿伏伽德羅常數。這不是數值，而是具有單位mol-1的物理量）。1摩爾的定義是系統物質的量，其包含的粒子...
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分子數密度從公式1-7和公式1-8可以看出，壓力與粒子數密度成正比。由于標準條件下每單位體積的粒子數目較高，其遵循（例如，每立方厘米為26,500個分子）壓力將仍然存在的原則。這就是為何不可能談及空虛或虛無狀態的原...
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封閉在容器中的氣體分子完全隨機地相互碰撞。并在過程中傳輸能量和脈沖。這種傳輸導致速度和/或動能的分布。速度分布與在z*概然速度時具有峰值的鐘形曲線（麥克斯韋—玻耳茲曼分布）相對應。
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平均自由程如果在房間的角落打開香水瓶，需要很長時間才可在房間的相反角落處檢測到芳香氣體物質。這一實驗似乎與前一章節中描述的平均氣體速度相矛盾。出現這種情況的原因在于氣體粒子在其路上遭受大量的碰撞。平...
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平均自由程與流道之間之比可用于描述流體類型。該比率被稱為克努森數：克努森數的值表示氣體流量的類型并將其分配到特定的壓力范圍內。表1.7給出了真空技術中各種流動類型以及其顯著特性參數的概覽。各種類型流態...
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pV氣流量用一般氣體方程（公式1-6）除以t時間求出氣體流量從方程的右邊可以看出，恒定質量的流量在恒溫T時被置換。這也被稱為pV流量或氣體吞吐量。吞吐量是真空泵輸送的氣體流量。1.8中給出了各種氣流量單位的換算表...
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一般而言，真空腔體都是通過管道連接至真空泵。流阻的產生是氣體分子與壁面之間的外部摩擦以及氣體分子之間的內部摩擦（粘性）的結果。該流阻以壓差和體積流量或抽速損失的形式表現出來。在真空技術中，習慣使用倒數，...
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