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機械設備
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如果一個孔口連接兩個容器，其中存在分子流條件（即：如果平均自由程遠遠大于容器直徑），則以下適用于每單位時間內置換的氣體量qpV該公式用于確定真空泵z*大可能的抽速，該真空泵具有入口A。因此，在分子流條件下，泵的...
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讓我們考慮下真空腔體的排氣。當放氣閥打開時，環境空氣在壓力p下以高速流進容器。達到的流速不超過聲速。如果氣體已經達到聲速，在容器可排空時，也已經達到了z*大氣體吞吐量。流經它的吞吐量qpV不是容器內壁壓力pi...
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污染當對真空室進行抽空時，真空室必須干凈，以盡快達到所需壓力。真空系統典型的污染物包括■■生產真空系統產生的殘渣表面、螺絲釘和密封件上的油脂■■與應用相關的污染物過程反應產物、灰塵和顆粒■■環境相關...
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冷凝和蒸發所有物質都可出現液體、固體或氣體狀態。他們的聚集狀態是壓力和溫度的作用。液體通過蒸發轉化為氣態，固體通過升華轉化為氣態。將液體或固體從氣相分離出來稱為冷凝。由于正常的環境空氣每立方米大約含...
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除水之外，其他物質，如真空泵工作也可吸附在表面。物質也可從金屬壁中擴散出來，這在殘余氣體中可檢驗出來。在特別嚴格要求的情況下，不銹鋼容器可在真空條件下烘烤，從而促使大多數揮發性成分從金屬壁中揮發出來。解...
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烘烤為實現超高真空范圍(<10-8hPa)內的壓力，必須滿足以下條件：■■真空泵的底壓應該低于所需極限壓力的10倍。■■真空室和部件所使用的材料必須針對z*小出氣量進行優化，并且具有適當的表面處理等級。■■應該使用...
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殘余氣體組成在超高真空中工作時，重要的是，在開始真空工藝之前或為了監控工藝，需要了解殘余氣體的組成。水的百分比(m/e=18)及其不完整部分OH(m/e=17)在真空室不干凈或烘烤不徹底的情況下降會很大。在N2/O2之比大...
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為避免不必要的污染，應該使用干燥的氮氣代替空氣對真空室進行排氣。這防止水蒸氣和環境空氣中的其他可冷凝物（如溶劑蒸汽）沉積（吸附）在容器壁上。與抽空操作相比，由于解吸過程緩慢，每種冷凝物都會延長后續的排空時...
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真空泵分為氣體輸送泵和氣體粘合或捕集泵。氣體容積式真空泵可以沒有限制地使用，而氣體粘合真空泵具有有限的氣體吸收能力，并且必須在一定的過程相關間隔進行再生。氣體容積式泵，也被稱為氣體輸送泵，被分類為往復...
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抽速（公式1-17）是通過真空泵入口橫截面的平均體積流量。在圖中，Y軸上顯示的是體積流率或或抽速，X軸上顯示的是入口壓力。由于其幾何形狀，泵可達到的z*大抽速被稱為額定抽速。抽速的測定在基本標準ISO21360-1:2012...
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極限壓力pe是在無氣體進入的限定條件下由盲板法蘭連接的真空泵漸進的接近的z*低壓力。如果在極限壓力下操作泵，可使用的抽速將為零，因為只有其自身的回流損失將被置換。極限壓力是理論值。現在指定底壓而不是極限...
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排氣壓力與進氣壓力之間的z*大壓力比被稱為壓縮比公式4-1：壓縮比在空白法蘭連接入口的情況下，壓縮比（由于零輸送，被稱為K0）通過出口側的進氣進行測量，前提是這不對恒定的氣壓排氣。
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讓我們認定真空泵具有抽速S0和壓縮比K0。該泵通過縫隙具有回流損失，回流流導率為CR.。讓入口壓力為且排氣壓力為。抽速為Sb的附加泵被連接到出口側。例如，這可以是羅茨泵組或渦輪分子泵組。抽速為S的整個泵組提供...
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空氣或其他非冷凝氣體通過某種方式被允許進入真空泵，該等方式被稱為氣鎮。如果泵在相應溫度下無需氣鎮置換會在泵中冷凝的蒸汽，則氣鎮使出口閥在蒸汽冷凝前打開，且蒸汽與鎮流氣體一起被排出。大氣以及所選惰性或過...
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水蒸汽耐受性pw是z*大的水蒸汽壓力，憑借該水蒸汽壓力，真空泵在正常環境條件下(20°C,p0=1,013hPa)可連續吸入和置換純凈的水蒸氣。它可從給定抽吸溫度下的抽速、氣鎮流量、相對濕度和飽和蒸氣壓計算得出。修正...
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