預真空鎖和非腐蝕性氣體

ACP 120 是水冷式多級羅茨泵的入門級機型。ACP 系列泵不適合于抽空大量的腐蝕性氣體。然而，ACP 系列泵至少可用于處理少量的腐蝕性氣體。在這種情況下，使用惰性氣體，其中，采用惰性氣體幕保護軸承，且過程氣體通過在泵級中引入惰性氣體進行稀釋。

ACP 120 即可作為獨立泵操作也可與羅茨泵組合作為 ACG600 泵站進行操作，該泵站是工業應用的理想解決方案，且受益于半導體行業腐蝕性氣體版本設計。ACP/ACG 泵通過其無摩擦設計非常適合于清洗過程。它們實現了優異的長期穩定性和長的維護間隔。

半導體行業的鎖泵在其命名中用“L”代表“預真空鎖”。與上述的 ACP 120 相比，它們配備了殼體和調節器。不管電源電壓和頻率如何，變頻器確保了整體可重現性性能參數。

L 系列泵裝有運行時間計數器、狀態燈，并可在本地和遠程控制模式中任一模式下進行操作。

入口和出口法蘭裝在泵的后部以及輸入輸出接口處，這使其可連接至半導體生產設備的控制單元。串行接口可任選用于啟動該泵，例如，要連接至監控網絡。水冷卻和可選的節能選項連接也位于泵的后部（見 Figure 4.13）。

集成在泵殼中的可選節能選項（節能，ES）將泵耗電量減少了 50%。因此，操作者的擁有成本顯著降低。除節能之外，A 100 L ES 可實現極限壓力為 7 · 10-4 hPa。噪音水平也降低了 3 dB(A)。

通過保持泵的表面不受約束，單元也可堆疊起來，因此z*大限度地減少在半導體晶圓廠無塵室或地下室中所占的空間。
得益于其z*小占用空間、可堆疊性、即使在氣壓下的高抽速、節能選項、低極限壓力和高可靠性與長期穩定性組合，L系列是所有預真空鎖過程的理想解決方案。

低z*終壓力和降低了的噪音水平使其對分析和研發應用極具吸引力。