單級和多級羅茨泵屬于空運行旋轉排量真空泵的范疇。它們也被稱為羅茨泵或羅茨鼓風機。本章描述的多級羅茨泵屬于ACP 范圍(阿迪克森清潔泵)。
在一個泵中,兩個同步反向旋轉的轉子 (1) 在單個殼體中非接觸旋轉(圖 4.9)。該轉子具有 8 字形結構,且相互之間由窄間隙分離開來。有四到六對轉子位于轉子軸上。每個轉子腔通過帶有噴氣口的定子盤與其他轉子分離開來。輸送的氣體從入口 (3) 被抽到出口 (4)、一個軸由電機 (5) 驅動。另一軸通過齒輪箱中的正時齒輪 (6)同步進行。潤滑僅限于齒輪箱和封裝的低壓和高壓軸承 (9),其與吸入室 (7) 通過軸封 (8) 密封開來。
風冷式多級羅茨泵的工作原理
由于吸入室中無摩擦,羅茨真空泵可在高達 6,000 rpm 的高轉速下操作。轉子質量圍繞軸線對稱分布還產生完美的動態平衡,這意味著,盡管其轉速很高,泵的運行卻極為安靜。