腐蝕性氣體版本的多級羅茨泵的優勢包括：
■■ 通過調節溫度、凈化氣體吞吐量和轉速對相關真空工藝進行理想的調節
■■ 在氣體置換區域沒有潤滑劑
■■ 無工作液處理問題
■■ 高可靠性和系統正常運行時間
■■ 長維修間隔、低能耗和冷卻水與沖洗氣體介質消耗低，因此具有較低的擁有成本
■■ 占用空間小，在潔凈室和泵級別中具有良好的集成性和節約性
■■ 豐富的控制選項，本地或遠程控制，集成在一個監控網絡中
■■ z*小泄漏率
■■ 在腐蝕性工藝中是渦輪分子泵和羅茨泵理想的前級泵
■■ 認證符合 UL/CSA 和 SEMI S2 要求

灰塵和粒子

流程泵接觸從過程室和前真空管道被輸送到泵中的粒子。此外，泵本身內副產物反應的冷凝可能產生的粒子和沉淀物必須也能容忍。理想情況下，通過使用可調節加熱和控制溫度模式，可避免粒子和沉積物的形成。通過在垂直方面抽吸，任何從泵級中掉出的粒子保留在下一級的排污口通道中。在接下來的排氣和隨后的抽空之后，粒子將通過置換氣體被排入到緊接著的下一級中。此排除機構將生成的 98% 以上的粒子從入口排出到出口。這意味著，可在泵出口處提供一個中央排氣凈化系統，它不僅捕捉和處理過程化學物質，而且捕捉和處理粒子。只要在適合于腐蝕性、毒性和可冷凝介質的真空解決方案中是可能的，就可避免進氣側上的高保養陷阱。

腐蝕性氣體

P 和 H 系列的多級羅茨泵專為屏幕屏幕半導體、太陽能和涂料行業中腐蝕性氣體過程而設計。金屬轉子和定子以及泵的彈性體材料均是由高度耐腐蝕材料制成的。

泄漏率高氣密性以及防止氣體通過止回閥從周圍空氣或排氣凈化系統或洗滌器回擴的性能使得多級羅茨泵成為腐蝕性氣體應用的完美解決方案。封裝電機也是防漏概念的一部分。