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熱傳導真空規概述
熱傳導真空規原理是將規管中的一根張緊的金屬絲通以電流J加熱(圖11-19),在熱平衡時,輸入的能量為輻射傳熱量(QR)、引線傳熱量(QL)和氣體傳熱量(Qc)之和,即RI2=QR+QL+QC圖11-18HLP-03型低真空計原理方框圖QR=KRA(e...
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熱偶真空規分類和特點
普通型熱偶真空計分為長絲和短絲兩種。長絲熱偶的加熱電流約在90mA—150mA。短絲熱偶的加熱電流約在28mA~30mA,測量范圍一般在4×102Pa—l×10-lPa,帶溫度補償的定溫式熱偶真空計的測量范圍1...
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電阻真空規概述
電阻真空規是皮拉尼在1906年發明的,故又稱皮拉尼規。這種規的熱絲溫度是隨壓力而變化的,由于溫度的改變導致熱絲電阻的變化,用測量電阻的變化來測量真空度。此規要求熱絲具有大的電阻溫度系數,以提高靈敏度;還要求...
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定電壓型和定電流型電阻規的區別
定電壓型和定電流型電阻規沒有本質的區別。圖11-25中Rt是電源的內阻oR是規管熱絲電阻。圖11-25定電壓型和定電流型電阻規原理圖如果R1《R,就是定電壓型。當壓力增大時,氣體熱傳導增大,導致熱絲溫度下降、電阻R下降...
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定溫型電阻規的工作原理
定溫型電阻規的工作原理是,保持熱絲溫度不變,當壓力變化時,熱絲的加熱功率隨之變化,調節電阻R。,以保持惠斯登電橋平衡(電流表G指示零),從而保持規管熱絲溫度恒定。借助電阻值的改變來測量真空度(圖11-23)。圖11-...
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皮拉尼規的特點
皮拉尼規噪聲超低,其量程約1Pa—6.7×10-7Pa.壓力和輸出訊號呈線性關系,對氮氣的靈敏度為0.029V/Pa,反應時間為10s(99%穩定值),漂移為6.7×10-7Pa/nun。此規主要特點是:①采用鍍金的鎢絲為熱絲,熱...
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輻射計型真空規原理
將兩塊間距為d的平行板A和B放置在低壓氣體中,如熱板A溫度為Ti,冷板B溫度為T2,氣體溫度為T(如圖11-27所示),則在兩板上會產生一對方向相反的作用力,作用力的大小與氣體壓力p成正比,這就是有名的輻射計效應。1910年...
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輻射計型真空規的規管結構
箔片型克努曾規(圖11-28)測量極板間作用力f的z*簡便的儀器是金箔驗電器,箔的自身質量要和廠相匹配。用顯微鏡讀出可動箔片的偏傾,并作出此偏傾量與f之間的校準曲線。此法雖簡便,但不夠,僅可測量低到10-3Pa的壓力。...
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輻射計型真空規測量范圍
當熱板加熱到200℃時,在熱輻射的作用下使冷板偏轉的效應稱為光壓效應。而光壓效應是與氣體壓力無關的,因此這種效應限制了克努曾規測量更低的壓力(測量下限約為10-5Pa)。隨著壓力的增高,雖然傳遞熱量的氣體分子數...
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粘滯性真空規規管結構
(1)旋轉型粘滯性規這類規中z*典型的結構是旋轉圓盤型粘滯規。圖11-31中,下圓盤A是一個由鎢軸H支撐的鋁的薄片,上圓盤C為25)um厚的云母片,由直徑為2腳、長為15mm的石英絲懸吊起來,J是小鏡。小型磁鐵NS與H軸連成一體...
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粘滯性真空規原理
氣體的粘滯系數印用下式表示式中C1-常數;n-氣體分子密度;—氣體分子平均速度;—氣體分子平均自由程。在高氣壓下,由于i與壓力戶成反比,而以與壓力戶成正比,所以叩僅是氣體溫度的函數,而不隨氣體壓力變化...
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磁懸浮轉子粘滯性規原理
磁懸浮轉子粘滯性規是一種新型的衰減型粘滯性規。雖然它的原理早在1937年就由赫爾姆斯(Helmes)進行了描述,但直到1973年Fremerey應用一小尺寸磁體懸浮才真正完成了磁懸浮轉子粘滯性規的實用性,通過在轉子頻率信號...
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諧振型粘滯性規概述
諧振型粘滯性規此類規的早期結構是在規管的垂直方向安置一根張緊的細絲,當細絲在諧振頻率下振動時,氣體的阻尼效應會使細絲的振幅衰減,如采用一驅動信號使細絲維持等幅振蕩,則通過測量驅動信號的大小就可以求得氣...
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振動薄膜規原理
振動薄膜規的外殼直徑為25.5mm,兩個對稱電極的直徑均為15mm,薄膜厚度為3ym,兩側的電極與薄膜之間距離為70tnn左右,在兩電極上同時加有直流偏置電壓V。(薄膜接地),當驅動電極上疊加一個頻率與薄膜的固有頻率相同的...
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電離真空規概述
在低壓力氣體中,氣體分子被電離胼生成的正離子數通常是與氣體分子密度成正比的,利用此關系可制成各種類型的電離真空規。使氣體分子電離有各種方法。例如可采用在電場中或在電磁場中被加速的電子去轟擊氣體分子使...
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