在涂層工藝中，特別是在平面屏幕半導體生產和太陽能行業中，如本章介紹中所說明的一樣，真空泵的耐蝕性具有重要的意義。除工藝兼容性外，占用空間小和低運營成本是特別重要的泵體參數。與先前型號相比，P 系列通過降低達 53%的電源輸入滿足了這些要求，同時保持相同的占用空間。

該泵系列是基于 A 103 P 空運行流程泵。我們已采用了該系列的兩個型號并輔以羅茨泵用于過程壓力范圍內提高了的抽速和氣體吞吐量。由于 A 103 P 的六級設計和節能電機，電源輸入保持在低水平。A 103 P 的六級設計降低了各級之間的差壓，也降低了泵的電源輸入。除六級外，大型進氣級和高轉速允許高抽速和低極限壓力。

將消聲器直接安置在泵體上形成緊湊的泵設計，并通過泵體對消聲器直接加熱而無需額外的加熱套實現了節約能源。溫度控制和連續檢測整個泵的加熱是必要的，以防止反應副產物的冷凝。

由于 P 系列的待機選項，不僅泵使用較少的冷卻水，而且還減少過程操作之外的沖洗氣體消耗，這導致運營成本的降低。
廣泛的活化和控制選項不僅允許手動控制模式，還允許通過系統控制和監控網絡連接進行控制。重要參數可直接輸出并導出用于統計評估。