除水之外，其他物質，如真空泵工作也可吸附在表面。物質也可從金屬壁中擴散出來，這在殘余氣體中可檢驗出來。在特別嚴格要求的情況下，不銹鋼容器可在真空條件下烘烤，從而促使大多數揮發性成分從金屬壁中揮發出來。

解吸

氣體分子（特別是水）通過吸附和吸收粘著在真空室的表面上，并在真空下再次逐漸解吸。在真空系統中，金屬和玻璃表面的解吸率產生的氣體產量隨覆蓋率下降、隨時間的推移而下降。通過假設在給定時間點t > t0 后，下降將在線性基礎上隨時間的推移而發生，則可得到很好的近似值。t0 通常假定為一小時。

氣體產量因此可描述為：

帶解吸的擴散

在低于 10-6 hPa 的作業中，塑料表面的解吸，特別是密封件，承擔著更大的作用。塑料主要釋放溶解于這些塑料的氣體，這些氣體s*先必須擴散在表面。因此，隨著泵停機時間的延長，從塑料中的解吸相比于從金屬表面而言占主導地位。雖然密封件的表面積相對較小；其解吸率隨時間的下降遠遠慢于金屬表面解吸率的下降。作為近似值，可假定隨時間的下降將在時間的平方根上發生。

塑料表面產生的氣體因此可描述為：

類似的效果也發生在壓力甚至更低的金屬中，其中，氫和碳以 CO 和 CO2 的形式逸出，并可在殘余氣體譜中看到。在這方面，公式 1-33 也適用。

滲透和泄漏

密封件，甚至金屬壁，通過擴散都可被小的氣體分子滲透，如氦。
由于該過程不是時間的原因，因此其導致所需極限壓力持續增加。滲透氣流與整個壁厚的壓力梯度和材料有關的滲透常數成正比。

       在給定時間 段 t 后可實現的極限壓力主要取決于上述的所有影響以及真空泵的抽速。前提當然是，相對于真空泵的底壓，極限壓力將較高。

公式 1-36：由于時間原因的極限壓力

對于給定的抽吸時間t，通過使用 公式 1-36 以及求解時間有關的方程，可計算各種氣體流量及產生的壓力。可實現的極限壓力是這些壓力之和。