為避免不必要的污染，應該使用干燥的氮氣代替空氣對真空室進行排氣。這防止水蒸氣和環境空氣中的其他可冷凝物（如溶劑蒸汽）沉積（吸附）在容器壁上。

與抽空操作相比，由于解吸過程緩慢，每種冷凝物都會延長后續的排空時間。如果已經使用惰性氣體對容器進行排氣，只有在需要在容器內部進行必要的工作時才打開容器。由于維修人員動作造成的對流或由于擴散，長時間打開容器將會導致環境空氣中的水蒸氣進入。