烘烤為實現超高真空范圍 (<10-8 hPa) 內的壓力，必須滿足以下條件：
■■ 真空泵的底壓應該低于所需極限壓力的 10 倍。
■■ 真空室和部件所使用的材料必須針對z*小出氣量進行優化，并且具有適當的表面處理等級。
■■ 應該使用金屬密封件（例如，CF 法蘭連接或 ISO 法蘭標準的 Helicoflex 密封件）。
■■ 清潔工作是超高真空所必須，即：所有部件必須在安裝前徹底清潔并必須佩帶無油脂手套進行安裝。
■■ 設備和高真空泵必須進行烘烤。
■■ 在啟動加熱器之前，必須避免并排除泄漏。為此，必須使用氦氣檢漏儀或四極桿質譜儀。

烘烤顯著增加解吸率和擴散率，而且這會導致抽吸時間大大縮短。作為制造工藝的z*后一個步驟，UHV 用途的腔室可在溫度高達 900 °C 時進行退化。后續烘烤溫 可能達到300 °C。泵制造商有關高真空泵法蘭z*高烘烤溫度的說明通常將作業中的z*高溫度限制為 120 °C。如果在真空設備中使用熱源（例如，輻射加熱），則不得超過允許的輻射功率。

設備在安裝完畢后投入運行。在達到 10-5 hPa 的壓力后，開啟加熱器。在加熱過程中，以 10 小時的間隔對真空計進行操作并脫氣。如果使用具有適當表面處理等級的不銹鋼容器和金屬密封件，120°C 的烘烤溫度和約 48 小時的加熱時間足以達到 10- 10 hPa 的壓力范圍。

烘烤應該持續，直至達到預期極限壓力的 100 倍。然后關閉泵和真空室的加熱器。在冷卻后，很可能會實現所需的極限壓力。在壓力低于 5 · 10-10 hPa 且內表面積較大時，將有利于使用氣體結合泵（鈦升華泵），該泵以高體積流量抽出從金屬中逸出的氫氣。