抽速

（公式 1-17）是通過真空泵入口橫截面的平均體積流量。在圖中，Y 軸上顯示的是體積流率或或抽速，X 軸上顯示的是入口壓力。由于其幾何形狀，泵可達到的z*大抽速被稱為額定抽速。抽速的測定在基本標準 ISO 21360-1:2012 中進行了說明。抽速以單位 m3 · s-1 表示。單位 m3 · h-1、l · s-1 和 l· min-1 也是慣用單位。

氣流量

（公式 1-16）作為入口壓力函數，表示真空泵中的氣體吞吐量。它以 Pa · m3 · s-1 或 hPa · l · s-1 = mbar · l · s-1 表示。如果泵由氣體容積泵組成，所有串聯連接的泵都具有相同的氣流量。