熱傳導真空規原理是將規管中的一根張緊的金屬絲通以電流J加熱(圖11-19)，在熱平衡時，輸入的能量為輻射傳熱量(QR)、引線傳熱量(QL)和氣體傳熱量(Qc)之和，即RI2= QR+ QL+ QC 

圖11-18  HLP-03型低真空計原理方框圖 QR=KRA（eT4一￡o T8）QL= KL(T- To)

式中R-金屬絲電阻；T-金屬絲熱力學溫度；To——規管壁熱力學溫度；KR——斯蒂芬．玻耳茲曼常數[5. 67×1012'W/( cm2．K4)]；A-金屬絲表面積；e-金屬絲熱輻射率；eo——規管壁熱輻射率；KL與引線材料和結構有關的常數。

圖11-19熱傳導真空規原理圖

從式(11-13)和式(11-14)可知，QR和QL與氣體壓力無關，而Qc則不同。在高壓時，氣體分子自由程A《管徑d，氣體的傳熱量Qc為，
 

式中  Kc——高壓力下氣體的熱傳導系數；P——氣體密度；可——氣體分子速度；cv——比定容熱容。
因式(11—16)中的P與壓力戶成正比，A與壓力戶成反比，所以Kc與壓力鄉是無關的，式（1l一15）可寫成Qc=B(T—To) 式中  B-常數。

從式(11-17)可知，在高壓力時，由于Qc與壓力戶無關，所以不能利用氣體熱傳導來測量氣體壓力（熱傳導規的測量上限也由此因素決定）。

在低壓力時，A》d，分子間無碰撞，氣體傳熱導僅與戶有關，則Qc=aAp(T- To)  

 (11-18)式中  a-熱適應系數；A-自由分子的熱傳導系數，

式中  R-氣體常數；
T'-T與To的平均值；
M-氣體的摩爾質量。
因此，可利用低壓力下Qc與壓力p成正比的關系來測量氣體的壓力。又由于A與／麗成反比，a和cv與氣體種類有關，所以熱傳導真空規的靈敏度因氣體種類而異。
在低一高壓力之間的過渡區域，Qc與壓力p之間的關系如圖11- 20所示，屬于從式(11- 18)的自由分子熱傳導的情況逐漸過渡到式(11-17)的與壓力無關的熱傳導的情況。

圖11-20  Qc -聲曲絨

式(11-18)中的熱適應系數口定義為Tg - Ti(11-20)a= i=Tl式中  Tl——氣體分子溫度；T2——表面溫度；Tg_一氣體分子(Ti)與表面(T2)碰撞后所具有的溫度。

熱適應系數口與金屬絲的材料性質和表面狀態有關，也與氣體的種類和溫度有關。清潔表面的口值要比不清潔表面的口值為小。對于經常暴露在高壓力下的規管，由于熱絲表面具有吸附層，所以口值較大。口值對熱傳導真空規的精度和穩定性的影響很大。表11-2給出了一些氣體一金屬配組的熱適應系數。

表11-2一些氣體．金屬配組的熱適應系數a
 
熱傳導真空規的測量下限主要取決于QR和QL的大小，Qc則不存在理論下限。
熱傳導式真空計有好幾種類型，z*常用的是熱偶真空計和電阻真空計，也是目前測量粗低真空的主要工具。