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機械設備
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檢漏儀z*小可檢漏率(即儀器靈敏度)與在檢漏過程中能夠達到的靈敏度(即檢漏靈敏度)是不完全相同的。倒如，氦質譜檢漏儀的靈敏度都是在一定的、不接被檢件的z*佳化條件下測出的，而在具體使用中能夠達到的檢漏靈敏度...
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檢漏的過程，就是用敏感元件來檢示是否有示漏物質通過漏孔。因此，檢漏敏感元件對示漏物質的靈敏程度足選擇示漏物質的主要根據。例如，鹵素檢漏儀一般用氟里昂作示漏物質，如果沒有氟里昂，則可用其它鹵族化合物，如碘...
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漏率測量的辦法是以示漏物質覆蓋被橙容器的整個可疑區(或者被檢容器內充人示漏物質)，另一側抽真空(或是大氣);或是在被檢容器的內外兩側形成壓差(或示漏物質的濃度差)，在低壓(或低濃度)側測量示漏物質的漏率和濃度...
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示漏物質在空氣中的含量會直接影響檢漏儀器的本底及噪聲。如質譜法檢漏也可使用氫作為示漏氣體，但由于氫的本底峰和儀器的噪聲都很大，不能檢出較小的漏孔，而使用氦氣為示漏氣體時情況就好得多。
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找出漏孔位置的基本方法有兩種：噴吹法和吸嘴法(即內探頭法與外探頭法)。當檢漏儀器的敏感元件與被檢件相連時，叫內探頭法或噴吹法，不相連時叫外探頭法或吸嘴法。噴吹法的檢漏速率比吸嘴法快，但吸嘴法可以使被檢件...
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所選擇的示漏物質不應造成系統或部件的污染或腐蝕。如氨檢漏法不宜用于銅制的系統和部件;對于清潔程度要求較高的真空系統或器件，不允許充入鹵族化合物，就是說不能用鹵素檢漏儀來檢漏。在檢示小漏率的漏孔時，要注...
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(1)氣體濃度有時需把所使用的示漏氣體進行稀釋，其原因是：①低濃度的示漏氣體可以得到良好的線性和穩定的反應;②當所要求的檢漏靈敏度不高時，不必使用純氣體，用較低濃度的示漏氣體就可達到要求;③易燃性示漏氣體稀...
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選擇檢漏方案和示漏物質時，必須考慮有關工作人員和設備的安全問題。例如：示漏物質是否易燃，是否會引起人的窒息和中毒。采用壓力檢漏法時，被檢件有無爆裂的可能性等等，都要事先采取相應的安全措施。1.易燃性氫氣、...
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前面已分別對反應時間和清除時間在不同情況下的意義作了說明。這兩個參數是衡量檢漏系統動態特性的標志，檢漏前應對其進行認真的估算和測量。當rR較大時，信號就上升得慢，rR小，則信號上升得快，所以檢漏速度也必須與...
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對于體積小、放氣速率和漏氣速率都小的被檢件可直接與檢漏儀的外接法蘭連接進行檢漏，無需輔助真空系統。對于漏氣速率和放氣速率較大或者體積較大的被檢件，若直接與檢漏儀相連接時，檢漏儀的真空度可能抽不上去，使...
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如上所述，輔助系統是用來抽除被檢件中的一部分氣體，使檢漏儀能處于穩定的工作狀態，并縮短反應時間與清除時間的設備。從抽除被檢件的氣量來考慮，對輔助系統的抽速應有一定的要求。由于其次，輔助系統的抽速選擇要從...
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檢漏儀與輔助系統的連接方式有圖13-41所示的兩種情況，兩種方式的特點各不相同。資料[430]認為，在對清潔的沒有大漏的容器進行檢漏時，檢漏儀應接在前級（低真空）一側；反之，對于被污染了的容器，要在有大漏的情況下找...
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氦罩法也叫氦室法，這種方法是用一個檢驗罩把被檢件包起來（如圖13-44所示），檢漏時，先排除罩內空氣，然后充入100kPa的氦氣（或氦氣與其它氣體的混合氣），當檢漏儀輸出指示有變化時，表明處于氦罩下的被檢件有漏孔，罩子...
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吸入法檢測的是大氣中氦濃度的變化，令在大氣中氦質譜檢漏儀指示的本底及本底噪聲為I1和△I，對應于氦濃度變化△γ時，信號為I2，則z*小可檢氦濃度γmin=（△I·△γ）/（I2-I1）。其中I2-Il為信號，...
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背壓法檢漏廣泛用于對封離電子器件、半導體器件等密封件的無損檢漏。檢漏時將被檢件在充有高壓示漏氣體（氦氣或氦氣和其它氣體的混合氣）的容器內存放一定時間，如果被檢件有漏孔，示漏氣體便通過漏孔進入被檢件內部...
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