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油擴散泵加熱時間和功率的測試條件：①測試氣體除另有規定外，應使用干燥空氣。②環境溫度除另有規定外，測試過程應在15℃～25℃的某一溫度下進行，并允許波動±l℃。③泵的加熱和冷卻泵的...
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在半導體產業為主要應用對象的干式泵，會在許多抽氣工藝過程中出現一些顆粒物，一般說來，在干式真空泵中出現顆粒物有下列三種情況：①當泵內壓力增高時引起氣固變相過程的發生；②在泵內產生反應...
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當代真空技術在半導體工業、電子工業、薄膜制備等工藝過程中的應用，迫切要求無油蒸氣污染的清潔真空。此外在這些制造工藝中，被抽氣體往往有腐蝕性蒸氣或固體顆粒，嚴重影響油封泵的使用壽命。...
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油擴散泵加熱時間和功率測試報告內容如下：①列出油擴散泵加熱時間及加熱功率的測試數據。如果被試油擴散泵采用大小不同的兩種功率分別作為啟動功率及正常運行功率，則應特別說明。②注明下列...
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(1)真空泵液返流率測試裝置相關術語①真空泵液返流率泵按規定條件工作時，在單位時間內通過真空泵人口單位面積并與被抽氣體流動方向相反的真空泵液質量流量。②測試罩指裝在真空泵入口處的，具...
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真空密封材料中，氟塑料是四氟乙烯的聚合物，為白色或灰白色的半透明物質；化學穩定性好，不被酸堿腐蝕，不燃燒，不溶于任何一種溶液，不吸水也不被浸潤；有優良的電絕緣性能，可以高速切削加工；能耐...
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真空密封材料中，橡膠密封圈的主要缺點是不耐烘烤且在室溫下放氣量大，所以許多要求高溫烘烤(>200℃)和只準使用低蒸氣壓(室溫時蒸氣壓<10-10Pa)材料的超高真空系統裝置，不能使用橡膠密封，而需...
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干式旋片真空泵屬于變容式真空泵，其工作原理與有油的旋片真空泵基本一致。圖3-81為干式旋片真空泵的工作原理圖。干式旋片泵的轉子偏心地置于泵殼內，上端靠近泵殼內，形成進排氣口間的密封。當...
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XG-6型干式旋片泵采用直聯式，結構緊湊；在進排氣口分別安裝了過濾器網，保證了吸入和排出的氣體干凈。在吸氣口處還安裝了真空表和調節真空閥門，可根據需要調整泵的入口壓力。該泵的z*大特點是...
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真空密封中，超高真空平面法蘭型式、尺寸如下表6-31平面法蘭是金屬密封法蘭型式中z*簡單的一種，如圖6-17所示，其密封面沒有配合問題，表面粗糙度(Ra1.6—Ra0.25)容易達到。主要缺點是密封...
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①測試氣體除另有規定外，應使用干燥空氣。②環境溫度除另有規定外，測試過程應在15℃～25℃內的某一溫度下進行，并允許波動±1℃。③泵的加熱和冷卻泵的加熱功率和冷卻條件，按制造廠的規...
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真空密封中,圓錐端面密封面的表面粗糙度要優于Ra1.6，上、下兩個錐面角度要吻合一致才能保證可靠密封。常用密封圈的材料有銅、鎳、鋁、不銹鋼（適用不銹鋼法蘭）。法蘭材料可用碳鋼、不銹鋼。
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爪式真空泵屬于變容式真空泵，從使用壽命所能達到的壓縮比、轉速及動平衡性等方面考慮，在結構上多采用多級爪式轉子串聯，或羅茨轉子與多級爪式型轉子串聯，組合成多級爪式真空泵。多級爪式真空...
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目前國內外爪式真空泵已有系列型號產品生產，其主要特點可概括為以下幾個方面：①轉子在泵腔內懸浮，無任何摩擦，泵腔內無任何潤滑油，因而無返油現象發生，并可實現高速運轉，一般為3000r/min。②...
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