爪式真空泵屬于變容式真空泵，從使用壽命所能達到的壓縮比、轉速及動平衡性等方面考慮，在結構上多采用多級爪式轉子串聯，或羅茨轉子與多級爪式型轉子串聯，組合成多級爪式真空泵。多級爪式真空泵的抽氣過程示意圖如圖3-82所示。

　　這種爪式泵由于沿軸向逆流少，所以壓縮比在高壓區較高。也因泵的吸排氣口設置在泵腔的端壁上，多級連接很方便，氣道流暢，故泵內腔壓力變化平緩，有利于防止可凝性氣體的凝結。目前爪式真空泵極限壓力為1Pa—10Pa，抽速為100m^3/h—180m^3/h。
　　爪式真空泵的工作原理如圖3-83所示。

　　具體抽氣過程分四個坤程：沖程：如圖3-83(a)所示，開始轉子對在初始位置，S腔的體積z*小，而且和吸氣口接通，S腔所處的容積不斷增加，被抽氣體進入S腔，體積較大的T腔則處于不斷縮小狀態。第二沖程：隨著轉子對的不斷運動，如圖3-83(b)所示。S腔正在不斷加大，吸入的氣體也越來越多，丁腔正不斷縮小，當和排氣口剛好接通時開始排氣。第三沖程：如圖3-83(c)所示，轉子對繼續運動，使丁腔變得z*小，氣體得到z*大限度壓縮，S腔變得z*大，吸氣排氣快要結束。第四沖程：如圖3-83（引所示，S腔和T腔合為一體，泵腔不再吸排氣，進、排氣口都自行關閉。這就是爪式真空泵抽氣的工作全過程。