干式旋片真空泵屬于變容式真空泵，其工作原理與有油的旋片真空泵基本一致。圖3-81為干式旋片真空泵的工作原理圖。

　　干式旋片泵的轉子偏心地置于泵殼內，上端靠近泵殼內，形成進排氣口間的密封。當電機帶動轉子轉動時，旋片在離心力的作用下貼緊泵腔的內壁。在泵體內形成多個空腔，進氣口側的空腔容積，隨轉子的轉動而增加產生真空而吸氣；排氣口側的空腔容積隨轉子的轉動而縮小，產生壓力而排氣。
　　由于干式旋片泵在無油狀態下工作，所以旋片材料需具備自潤滑功能。目前，國內外一般采用碳素材料；同時也因其無油，為減少氣體的泄漏，該泵采用多個旋片結構。