(1)啟動機械真空泵時，s*先要保證轉子運動方向正確，而且注意泵油箱中的油位應合乎要求。   (2)機械真空泵入口處應安置壓差閥，當機械泵停止后，立即將機械泵入口通大氣。防止泵油返流進入到真空容器中。   (3)不要用機械泵將真空室直接抽至低于13pa壓強，否則機械泵油蒸氣容易返流進入真空容器中。因為在壓強低于13pa時，會出現分子流流態，油蒸氣分子將返流到真空容器中而造成污染。如果在機械泵與真空容器之間設有冷凝捕集器，則允許機械真空泵抽到13Pa以下的壓力，這時捕集器可以防止油蒸氣進入真空容器。   (4)不要使機械真空泵在大氣壓力下或較高壓力下連續長時間工作，否則電機會過熱，而且泵出口會噴出油霧。   (5)在擴散泵(或油增壓泵)通大氣之前，應該將泵油冷卻到安全溫度，防止高溫下泵油發生氧化。   (6)蒸氣流泵在加熱之前，應供給冷卻水。而且泵應該配備熱保護繼電器，當發生停水事故時，能立即使加熱器斷電，并關閉入口閥門防止泵液因溫度過高而氧化。   (7)由于擴散泵油返流在泵開始工作和泵停止加熱階段特別嚴重，因此在開泵前和停泵前應將擴散泵的入口的高真空閥門關閉，可以防止泵油返流到真空室。   (8)不要在壓力高于10-2pa時給冷阱加入液氮，這樣會導致凝結很多水氣。冷阱在使用前要把液氮阱的貯液罐中的所有水凝液都清除掉，以避免水凍結在阱內。開始抽氣時，z*好分步地加注液氮，這樣可使真空系統冷凝物主要捕集在阱的下部。當達到高真空后，應給阱加注液氮達到較高液面，以便大量捕集氣體。   (9)為了縮短抽空時間，當真空室對大氣壓作短時間通氣時，使用干燥氮氣為好。把真空系統內表面的濕氣減到z*小限度。通氣時應在真空室一側用放氣閥門進行放氣。不可以從擴散泵出口的前級管道上通氣。   (10)使用熱陰極電離計時，應該在真空室內的壓力達到1.33×10-11pa時，再接通電離計的電源，防止因壓力過高而燒壞規管的陰極燈絲。   (11)當真空系統停止工作時，應使系統處于并保持在真空狀態下，但是機械泵要通大氣。