往復真空泵的工作原理如圖所示。主要部件是氣缸1及在其中做往復直線運動的活塞2。活塞的驅動是用曲柄連桿3來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥4和吸氣閥5。
　　運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動肘，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到z*右位置時，氣缸內就完全充滿了氣體。接著活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5關閉。氣缸內的氣體隨著活塞從右向左運動而逐漸被壓縮，當氣缸內氣體的壓強達到或稍大于大氣壓時，排氣閥4被打開，將氣體排到大氣中，完成一個工作循環。當活塞再自左向右運動時，又吸進一部分氣體，重復前一循環，如此反復下去，直到被抽容器內達到某一穩定的平衡壓力為止。