①北京中科科儀發展有限責任公司生產的2L型、3L型濺射離子泵，外形尺寸如圖5-24～圖5-27所示，性能參數見表5-9。



　　
　　②中科院沈陽科學儀器研制中心生產的3L型濺射離子泵，具有工作壓力范圍寬、惰性氣體抽速大、無噪聲、工作壽命長等優點。其外形尺寸及性能參數見表5-11。
　　
　　③上海真空泵廠生產的L系列濺射離子泵有L型二極式、3L型三極式和LH型三種型號，泵口法蘭有國際標準CF法蘭和廠標階梯法蘭二種，L系列濺射離子泵均附有電源控制箱，烘烤裝置與泵體合為一體，不卸磁鋼可烘烤至250℃。采用全封閉結構形式，磁鋼不外裸，因此不僅可縮小體積，而且可減少雜散磁場對外界的影響。外形尺寸如圖5-29～圖5-37所示，性能參數見表5-12。