按照低溫介質的供給方式，低溫泵分為三種類型：
　　
　　①流程低溫泵(圖5-38)  泵中低溫板冷卻管和制冷膨脹機相聯接，低溫介質（氣氦）通過外管路供給低溫泵，吸收低溫板熱量后再回到制冷壓縮機，形成封閉循環，這種低溫泵的體積龐大、管路復雜、管路冷損較大。優點是制冷功率大，z*適宜抽除大氣量或大型真空室，廣泛用于空間環模設備、受控熱核反應裝置、火箭發動機高空點火試驗以及低壓空氣動力學試驗等。
　　
　　②貯槽式低溫泵(圖5-39)  低溫介質（液氦）直接注入泵內貯槽，使氣體冷凝達到抽氣目的。其優點是泵的體積小、無振動、無噪聲、操作簡便，適用于大專院校及科研單位和高能加速器等大型真空工程。缺點是運轉費用高，每次加注低溫介質的使用時間短，需長期連續運轉的真空系統要定期補充工作介質，并且受到低溫介質供應條件的限制。
　　
　　③小型制冷機低溫泵(圖5-40)  閉循環小型制冷機低溫泵是由低溫泵體、抽氣低溫板、輻射屏蔽板、制冷機和壓縮機等部分組成。和流程低溫泵的z*大區別是制冷機一、二級冷頭直接和輻射屏、冷板相連，在制冷機與壓縮機連接管路中流動的是常溫、高（或低）壓氣體介質，不存在低溫介質的輸送問題，兼有流程低溫泵和貯槽式低溫泵的優點，是目前比較理想的清潔超高真空泵。廣泛用于薄膜制備、微電子學技術、高能物理、小型環模設備以及其它各工業領域。