①單級旋片式真空泵的工作原理(圖3-22)。
　　單級旋片式真空泵只有一個工作室。泵主要由定子、旋片、轉子組成。在定子缸內偏心地裝有轉子，轉子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁（轉動后還有旋片離心力）。定子上的進排氣口被轉子和旋片分為兩部分。
　　當轉子在定子缸內旋轉時周期性地將進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口方面容積將已吸入氣體壓縮從排氣閥排出。
　　排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中。泊通過泵體上的縫隙、油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內所有的運動表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。同時，油還充滿了泵腔內的一切有害空腔，以消除它們對極限真空的影響。

 

　　②雙級旋片式真空泵的工作原理（圖3-23）。
　　雙級旋片式真空泵由兩個工作室組成。兩室前后串聯，同向等速旋轉，工室是Ⅱ室的前級，工室是低真空級，Ⅱ室是較高真空級。被抽氣體由進氣管道進入Ⅱ室。當進入氣體壓力較高時，氣體經Ⅱ室壓縮、壓強急增，被壓縮的氣體除經通道2進人工室外，還能推開排氣閥1，從排氣閥1排出。
　　當進入Ⅱ室的氣體壓力較低時，雖經Ⅱ室的壓縮也推不開排氣閥1，氣體全部經通道2進入工室，經I室的繼續壓縮，由排氣閥3排出。因而雙級旋片式真空泵比單級旋片式真空泵的極限真空高。