高真空油擴散泵的主要部件有泵體、冷卻帽、噴嘴、蒸氣流導管和加熱器等，如圖4-30所示。

　　
　　擴散泵油鍋中的泵油在真空中加熱到沸騰溫度(約200℃)，產生大量的油蒸氣，油蒸氣經導流管由各級噴嘴定向高速噴出。由于擴散泵進氣口附近被抽氣體的分壓力高于蒸氣流中該氣體的分壓力，所以被抽氣體分子就不斷地擴散到蒸氣流中。油蒸氣撞擊被抽氣體分子，使被抽氣體分子沿蒸氣流束的方向高速運動。氣體分子碰到泵壁又反射回來，再受到蒸氣流的碰撞而重新沿蒸氣流方向流向泵壁。經過幾次碰撞后，氣體分子被壓縮到低真空端，再由下幾級噴嘴噴出的蒸氣流進行多級壓縮，z*后由前級真空泵抽走。而油蒸氣在冷卻的泵壁上被冷凝后又返回到油鍋中重新被加熱，如此循環工作。