1.擴散泵油蒸氣的返流
　　
　　擴散泵油蒸氣的返流可歸結為五種原因(如圖4-31所示)：
　　
　　①泵壁表面油膜和油滴的蒸發(如圖4-31①所示);
　　
　　②噴嘴噴出的高速油蒸氣流碰到泵壁后的反射(如圖4-31②所示);
　　
　　③一級噴口表面的油膜及油滴的蒸發(如圖4-31③所示);
　　
　　④噴口邊緣高速油蒸氣流的散射(如圖4-31④所示);
　　
　　⑤室溫下油沿泵壁的表面遷移(爬移)(如圖4-31⑤所示)。
　　
　　2.氣體分子的反擴散
　　
　　在擴散泵中，低真空端的氣體分子總有一些會進入到高真空端，特別是某些質量較輕的氣體，如氫、氦、氘等反擴散較大，其中氫的反擴散z*大，可達10 ^- 3mg/h，氮的反擴散較小，約為10^ -7mg/h。
　　
　　3.擴散泵油的裂化分解
　　
　　擴散泵油分為兩種：礦物油，此種油熱穩定性及抗氧化能力都較差，在室溫下的飽和蒸氣壓為10^-5Pa～10^-7Pa。另一種是硅油，熱穩定性及抗氧化性都較好，室溫下的飽和蒸氣壓力10^-6Pa～l0^- 8Pa。
　　
　　在金屬油擴散泵的鍋爐中，由于高溫、金屬催化作用以及油爆發式沸騰，使高分子的油裂化成低分子的碳氫化合物及輕的氣體(H2、CH4、C2H6等)。這些裂化后的氫和碳氫化合物的蒸氣壓很高，限制了擴散泵的極限真空。
　　
　　此外，機械泵油返流到擴散泵中，也產生分裂物，使擴散泵的真空度受到影響。
　　
　　4.真空泵的清潔度
　　
　　清洗不干凈的真空泵，污染物質會留在泵內并重復循環，影響泵的極限真空。