①概述為了測量臨界力前級壓力，蒸氣流泵應按制造廠規定的泵液種類及用量、加熱功率以及冷卻條件進行正常工作。
　　
　　測試過程中，室溫應在15℃-25℃之間，測量前，泵應達到熱平衡并抽至極限壓力。
　　
　　在這些條件下，泵人口以上裝置溫度(如圖4-50所示)和泵出口法蘭與進氣微調閥(B)(如圖4-50所示)間連管的溫度，應穩定在±1℃，且應在15℃～25℃之間。
　　
　　注：可以在其它室溫下測量臨界前級壓力，如果在其它室溫下測量，應適當提供所用測量儀表工作條件。
　　
　　②“空載”程序當測試罩達到極限壓力時，逐漸開啟前級管路進氣微調閥(B)，使前級管路壓力以微小增量逐步升高并同時觀測測試罩壓力的變化，直至前級壓力微小增高率使泵口吸人壓力增高率達到或超過10%。然后，通過進氣微調閥(B)的控制，在此臨界區域進行詳細探測，從而得出隨前級壓力而變化的泵口吸入壓力函數曲線。在該曲線上符合(1)中①所規定的增高率變化的點，便確定為“空載”臨界前級壓力。在氣體流率為零時前級管路中的初始壓力應小于測得的臨界前級壓力的10%。
　　
　　③“滿載”、中間載程序
　　
　　a.開啟測試罩側壁的進氣微調閥(A)，使泵口吸入壓力在符合要求的范圍內測量氣體流率。并重復進行空載程序所敘述的氣流通過進氣微調閥(B)的操作程序，測得中間載若干點的臨界前級壓力。在連續操作之間關閉閥(B).直至達到泵穩定正常工作z*大氣體流率。
　　
　　注：泵穩定正常工件的z*大氣體流率有時受前級泵抽氣速率的限制，當前級泵抽氣速率小于蒸氣流泵正常工作z*大氣體流率除以前級壓力所得之商時，需要更換前級泵。直到滿足蒸氣流泵z*大氣體流率的要求為止。
　　
　　通過進氣微調閥(A)控制測試罩壓力，穩定在z*大吸入壓力附近。例如，油擴散泵為3×10 -1Pa，油擴散噴射泵為7×10-lPa，按上述程序便可測得相應的“滿載”臨界前級壓力值，代表被測泵的臨界前級壓力。此值即為蒸氣流泵所允許的z*高前級壓力值，超過此值便破壞了正常工作。
　　
　　b.在進行(4)中②“空載”程序和(4)中③“滿載”中間載程序所述試驗時，從測量前3min開始，蒸氣流泵的加熱功率應保持在正常值的±4%。冷卻波動率在制造廠推薦值的±10%內保　　持恒定。