1.渦輪分子泵相關定義
①渦輪分子泵抽氣速率。渦輪分子泵在正常工作條件下，單位時間內被抽氣體通過測試罩流經分子泵進氣口的體積，即氣體流量與測試罩規定位置測得的平衡壓力之商。
②渦輪分子泵極限壓力。渦輪分子泵在規定的工作條件下，不向測試罩引入氣體，泵殼和測試罩經烘烤后48h內在測試罩規定位置測得的平衡壓力。
③渦輪分子泵壓縮比。通過渦輪分子泵進氣口的氣流量為零，被抽氣體在前級區的分壓力至少占全壓力的90%以上，渦輪分子泵的前級壓力與進氣口壓力之比為分子泵對該氣體的壓縮比。
④渦輪分子泵啟動時間。從接通電源到渦輪分子泵轉速達到額定轉速的90%所需的時間。
2.渦輪分子泵型號表示方法，詳見下圖：
標記示例：進氣口徑為100mm，抽泣速率為220L/s的立式渦輪分子泵，標記為F-100/220。