真空密封：真空設備為了隔絕大氣，它的各個部件的連接處、電源和信號的引入端、轉動軸、觀察窗、大門、蓋等地方，都應有可靠的真空密封。真空設備的密封性能是真空設備的重要指標，要求通過各種密封途徑將漏氣率限制在允許的范圍之內。正確地設計各種密封結構、選擇適當的密封材料是決定真空設備質量好壞的關鍵之一。

　　(1)密封槽的設計
　　
　　真空橡膠密封槽有各種形式，如圖6-6所示，其中(a)、(b)，(f)、(i)、(j)為z*常用的形式。設計密封槽的截面面積要求稍大于橡膠密封圈的截面面積，橡膠壓縮后的充填因數>1，橡膠的壓縮量通常為15%—30%。
　　
　　①密封槽深度。設計橡膠密封槽，要充分考慮橡膠密封圈（截面為圓形或矩形）的特點，橡膠圈受力后形狀改變而保持體積不變，即不可壓縮的彈性壓縮能力，超過這種能力就會產生塑性變形，嚴重時造成表皮破損，因此，確保橡膠密封圈z*適宜的壓縮量是密封槽設計中重要的參數之一。過小不能形成長期穩定的可靠密封，過大會影響橡膠圈的使用壽命。靜密封法蘭連接矩形密封槽深度和橡膠圈壓縮率參數見表6-21。

  　　②密封槽寬度。密封槽寬度是密封槽設計中另一重要參數。由于安裝在密封槽里的橡膠圈受壓前后，形狀發生變化而體積不變（橡膠本身不可壓縮），因此，密封槽要有容納密封圈變形的空間。在受壓密封狀態下，密封圈不可能將密封槽完全允滿，在不同的介質和溫度下，橡膠圈會出現一定的膨脹，密封槽容積應有相對的余量。此外，在動密封條件下，要求O形密封圈產生輕微的滾動，因此，通常要求矩形密封槽的容積比密封圈的體積大15%左右。



　　③梯形密封槽尺寸：
　　
　　a．梯形密封圈用梯形槽尺寸見表6-22。



　　④矩形密封槽尺寸(GB6070-85)見表6-24、表6-25。



   　O形圈位于矩形槽中受到槽寬的限制時，密封的壓力隨壓縮螢增加而急劇增加，如圖6-7所示。設計密封槽時，除考慮O形圈截面直徑d的公差的影響外，還需要考慮O形圈裝配在密封槽中，0形圈直徑D伸展的影響。密封槽的深度Hmax，寬度C的計算公式為





 



　　密封槽和轉軸的端角處應有15°～30°的倒角，避免尖銳的棱角在裝配時劃傷密封圈，密封圈一旦被劃傷，劃傷處不僅存在漏氣隱患，更主要的是密封圈的損傷在受力后會在蔓延擴大，導致密封失效。運動部件各端部倒角見表6-28。
　　
　　為了避免損壞密封圈和改善密封性能，安裝密封圈時應涂高真空潤滑油脂，特別是傳動軸進入內孔前，在軸、密封圈和內孔表面要均勻涂上油脂，便于安裝。帶有螺紋端的傳動軸，應采用導套管（如圖6-13所示），避免螺紋劃傷密封圈表面。
　　
　　圖6-14給出了方形、長方形密封槽在轉角處的密封及加工的結構形式．密封槽底部的鏜銑接縫要求控制在一個平面上。