本標準等效采用國際標準IS01607/1 -1980《容積真空泵性能測量方法——部分：體積流率（抽速）的測量》和IS0 1607/Ⅱ-1980《容積真空泵性能測量方法——第二部分：極限壓力的測量》。
1．主題內容與適用范圍
　　本標準規定了容積真空泵抽氣速率、極限壓力、消耗功率和工作溫度的測量方法。
　　本標準適用于極限壓力低于lOOPa，并能直接向大氣空間排氣的容積真空泵（以下簡稱泵）的性能測量。
2．術語
　　①抽氣速率（體積流率）  在理想狀態下，單位時間內流經泵口的氣體體積。實際應用中，抽氣速率(S)定義為：泵按規定條件運轉，從試驗罩流過的氣體流量(q)與規定位置上的平衡壓力(p)的比值，簡稱抽速，[L/s]。即：

　　②極限壓力泵按規定條件運轉，在不引入氣體的試驗罩內趨向穩定的z*低壓力。
　　③試驗罩指裝在泵口上的具有規定形狀和容積的容器。經過計量的試驗氣體通過它充人泵內，其上裝有微調閥和真空計。
　　④消耗功率泵按規定條件運轉，泵溫平衡后，對應于泵入口壓力所需要的功率。
　　⑤工作溫度泵按規定條件運轉并在極限壓力下，在排氣閥附近測得的平衡溫度。
3．測量裝置
　　①測試罩  罩為圓筒形（如圖3-90(a)所示）。其內徑為D，高為1.5D，試驗氣體入口位于罩的軸線上并背向泵口，與法蘭平面距離為D。真空計（或規管）連接管距法蘭平面為0.5D，并垂直于罩軸線。
　　罩的容積VD至少應是泵的一個壓縮周期掃過容積Vp的5倍。罩與泵口之間需要連接一個長度不超過0.5D的異徑管接頭，如圖3-90(b)所示。不同規梏的泵適用的試驗罩由表3—125給出。
　　②真空計  根據所測壓力，選用不同種類和精度的真空計。其校準精度為：壓力高于或等于1Pa，在±5%以內；壓力低于1Pa，在±10%以內。接輔助氣閥
　　表3-125不同規格的泵適用的試驗罩參數

　　③流量計根據所測流量，選用不同種類和規格的流量計。其測量精度為：
　　流量大于1W，在±306以內；
　　流量介于1W—10-4W之間，在±5%以內；
　　流量小于10 - 4W，在±10%以內。
　　④功率表和電流互感器功率表和電流互感器應具有一級精度，并具有計量部門簽發的有效證書。
　　⑤溫度計測量工作溫度的溫度計誤差不大于±1℃。