本標準規定了氟橡膠密封超高真空法蘭（以下簡稱法蘭）的技術要求、質量保證規定。
　　本標準適用于各類超高真空裝置及管路連接用不銹鋼法蘭的設計、制造。
　　法蘭結構形式和尺寸按圖6-31、圖6-32和表6-44、表6-45的規定。

　　
　　①標記示例。公稱通徑DN為50mm法蘭的標記為：法蘭FC-DN50QJ 2965-97
　　②法蘭及密封件：
　　a．法蘭的原材料均應附有質量證明文件。
　　b．法蘭組件及釬焊材料按表6-46的規定。
　　c．氟橡膠密封圈的材料應符合HG2-530申牌號26-41的規定。
　　③加工要求：
　　a．法蘭和管道一般應采用雙面焊接（當DN<400mm時，外焊縫可不焊），其中真空側的內焊縫采用連續鎢極氬弧焊，外焊縫采用斷續焊。
　　b．水冷管和冷凍管與法蘭之間采用錫鉛焊料釬焊。冷凍管焊后鏟平。
　　c．法蘭的螺栓孔中心圓直徑的極限偏差及相鄰兩孔間弧長的極限偏差均為螺栓與螺栓孔間隙的±1/4。






　　d．法蘭各零件的未注公差應符合GB/T 1804中m級的規定。
　　e．法蘭密封面和密封槽一般在焊接后精加工。密封面和密封槽表面應光滑，不得有氣孔、裂紋、斑點、毛刺、銹跡及其它降低強度和密封性能的缺陷。
　　f．法蘭焊接前，零、部件應除油清洗，并吹干。
　　g．焊接部位要清洗，并除油污。焊縫應平整、光滑、無氣孔、裂紋和毛刺。焊后應進行檢漏。
　　h．氟橡膠密封圈應符合GB 6070.5的規定，本規范所用氟橡膠密封圈的規格見附錄A(補充件)。
　　i．法蘭外觀應無毛刺、銹蝕、劃傷和焊渣等缺陷。