將容積真空泵性能測量抽氣速率、極限壓力、消耗功率和工作溫度測量結果填寫《真空泵性能測量記錄表》,并繪制抽氣速率一壓力曲線圖(如圖3-92所示)及消耗功率一壓力曲線圖(如圖3-93所示)。
附錄A真空計和壓力測量(補充件)
(1)真空計
根據JB/T 7266-94中對真空計精度的規定,應采用下列真空計:
壓力低于1.3×10^3Pa,用標準壓縮式真空計;
壓力介于5.3×10^3Pa—5.3×10^2Pa之間,用油U形管真空計;
壓力介于1×10^5Pa—5.3×10^3Pa之間,用汞單管或U形管真空計。
(2)壓縮式真空計
采用標準壓縮式真空計必須具有計量部門簽發的有效證書。
使用的汞必須具有99.999%的純度,并經過充分過濾、清洗和真空蒸餾,不使用時計內應保持真空。
采用純度不低于99.9%的氮氣來提升計內的汞。
真空計與試驗罩之間,不得有橡膠管和帶真空油脂的玻璃閥門。
真空計應裝一只冷阱,測抽氣速率時,允許不灌注冷劑。
壓縮式真空計采用“無標定標法”。提升汞的接預抽泵速度不得太快,提升結束,至少穩定1min方可讀數。
(3)油U形管真空計
油U形管真空計(如圖3-94所示)應該管徑均勻,并具有1mm的分度標。
測量用油20℃時,蒸氣壓低于0.133Pa,運動粘度低于30×10^-6m²/S,密度應實際測量。
預抽泵昀極限壓力應低于0.133Pa。
使用前,先經過充分去氣;測量時,待液柱穩定后方可讀數。
附錄B流量計和流量測試(參考件)
(1)流量計的選用
根據JB/T7266-94對流量測試精度的規定,推薦按表3-126選用流量計。
(2)滴管式流量計
滴管式流量計的結構如圖3-95所示。測量段長度(從刻線1到2)為200mm。測量段容積的測量精度為±1%。連接微調閥的橡膠管要盡量短而細。油槽截面積應大于180un2。測量用油20℃時的運動粘度應低于30×10 -6rrr2/s,其密度應實際測量。
滴管式流量計所測流量按式(3-2)計算:q=VPat[l+133.32(Vo-V)hy/VPat]/t (3-2)
(3)玻璃轉子流量計
玻璃轉子流量計應具有1.5級精度,并應在流量60%—100%段使用,其所測流量按式(3-3)計算: