旋片式真空泵是油密封的旋轉式排量泵。泵系統包括一個殼體。

(1)、一個偏心地安裝的轉子 。
(2)、在離心力和彈力作用下徑向移動的葉片。
(3) 以及入口和出口。
(4)入口閥（如配置）被設計為真空安全閥，該閥在操作過程中始終處于打開狀態。 (5)工作室 位于殼體內，并受到定子、轉子和葉片的限制。偏心安裝的轉子和葉片將工作室分為具有可變容積的兩個獨立艙。當轉子轉動時，氣體流入擴大的吸入室直至其被第二個葉片封住。封閉氣體然后進行壓縮，直到出口閥沖破大氣壓力而開啟。出口閥是油封的。當閥打開時，少量的油進入吸入室，不僅能夠對其進行潤滑，而且能夠將葉片與殼體（定子）密封開來。

在氣鎮操作的情況下，一個孔向外側打開，讓氣體流入前側的密封吸入室。因此，在壓縮抽吸階段，在相對低的壓縮下達到打開出口閥所需的壓力。這使得蒸汽開始冷凝前排出置換的氣體/蒸汽混合物。在操作過程使用氣鎮達到的z*終壓力高于無氣鎮操作所達到的壓力。

工作液、油泵油，也稱為工作液，在旋片式真空泵中泵油有多個任務要執行。它潤滑所有移動部件，填充出口閥下的固定空間以及縮小入口和出口之間的間隙。它壓縮葉片和工作室之間的間隙，此外還通過熱傳遞確保z*佳溫度平衡。多級泵旋片式真空泵是內置的單級和兩極版。二極泵比單級泵實現相對更低的極限壓力。此外，氣鎮對極限壓力的影響較低，因為氣鎮僅允許在高壓力級使用。

真空安全閥根據所涉及的泵類型，旋片式真空泵可能配備真空安全閥。

真空安全閥在有意或意外停頓的情況下將泵與真空室隔離，并使用置換氣體對泵系統進行排氣，防止油液上升到真空室中。在開啟泵后，一旦泵中的壓力已達到真空室中的近似壓力，它稍作延遲就打開。