其無烴的吸入室使隔膜泵特別適合作為具有 Holweck 階段的渦輪分子泵的前級泵。甚至兩極隔膜泵可實現極限壓力大約為 5 hPa。對于 Holweck 渦輪分子泵的前級泵，這已足夠了。清潔真空特別利于分析和研發應用。無氣鎮，隔膜泵也不置換水蒸氣。即使高真空設備壁解吸的少量水蒸氣也可以使隔膜泵的極限壓力急劇上升。然而，一些隔膜泵配備了氣鎮閥，該閥根據專利方法操作。為此，允許氣體進入兩極隔膜泵級和第二級之間的連接通道，而且這通過一個小孔與級的吸入室連接。

如果較大量的水分聚集且使用無氣鎮的隔膜泵，則必須在上游連接合適的分離器或冷卻陷阱，以防止在泵中形成大量的冷凝物。但是極限壓力將會增高。