前級泵單級或兩極旋片泵或外部葉片泵用作油潤滑前級泵。螺桿泵或多級羅茨泵可用作干式前級泵。諸如此類的泵組合可用于在低、中真空范圍內要求高抽速的所有應用。液環泵也可額用作前級泵。
氣體循環冷卻羅茨泵為使羅茨真空泵在氣壓下工作,有些型號是氣冷的且沒有溢流閥(Figure 4.17)。在這種情況下,從出口法蘭 (6) 流經冷卻器 (7) 的氣體被允許再次進入吸入室 (4) 的中間。這種人工產生的氣體流量使泵冷卻,使其能夠對著氣壓壓縮。通過羅茨活塞控制氣體的進入,因而無需任何額外的閥。即使在極限壓力下操作時,也沒有熱超載的可能性。
Figure 4.17 顯示了氣體循環冷卻羅茨真空泵的橫截面。氣體流動方向自上而下是垂直的,從而使液體或固體粒子夾帶在入口流中向下流動。在階段中,吸入室 (3) 通過活塞 (1)和 (2) 的旋轉打開。氣體通過入口法蘭 (5) 流入吸入室,壓力為 p1。在第二階段中,吸入室 (3) 朝著入口法蘭和壓力法蘭方向被封住。冷卻氣體的入口開口 (4) 通過第三階段的活塞旋轉而被打開。填充吸入室 (3) 達到出口壓力 p2,并且氣體被推向壓力法蘭。z*初,吸入體積并未隨著羅茨活塞的旋轉運動而發生改變。氣體通過流入的冷卻氣體進行壓縮。羅茨活塞現在繼續旋轉(第四階段),且該運動推動現在已經壓縮的氣體經過冷卻器 (7) 到排出側(第五階段),壓力為 p2。
氣冷羅茨泵可在 130 至 1,013 hPa 的入口壓力范圍內使用。
由于吸入室內沒有潤滑劑,它們不排出任何霧氣或污染被泵送的介質。將兩個此類泵串聯連接可使極限壓力降低至 20 到30 hPa。當與其他羅茨真空泵組合使用時,極限壓力可以降低至中真空范圍。