如果因工藝對功能產生不利影響的可能性不大，則旋片式真空泵是羅茨真空泵站z*具成本效益的前級泵。在恒定抽速下，旋片式真空泵在廣泛的壓力范圍內具有極限壓力大約為p < 1 hPa 。在氣鎮閥開啟時，羅茨真空泵站實現的極限壓力大約為 10-2 hPa。

       使用這些類型的泵站，可抽出水蒸氣以及很多溶劑蒸汽和氣體具有足夠高蒸氣壓且沒有化學分解泵油的其他蒸汽。其中的例子包括醇類、鹵代烴類以及光的正構烷烴等。