M 系列可用于對密封有z*嚴格要求且要求z*長維修間隔的工藝。該系列的大部分與標準系列相同,但是,其特點是額外的嚴密密封的磁耦合代替了徑向軸密封環。這意味著,它在操作中基本無磨損。泵的整體泄漏率小于 1 · 10-6 Pa · m3 ·s-1。這排除了油泄漏的可能性,過程氣體和環境之間也不存在任何交換。
M 系列標準泵適合于Table 4.19 中顯示的所有應用。此外,這些泵還可用于抽吸有毒氣體的工業/化學應用以及超潔凈氣體應用:例如,用于半導體行業中的 CVD 和PVD 工藝或排空預真空鎖/傳輸室以及用于平面屏幕的生產。M 系統可提供的大小范圍從 250 m3 · h-1 到 6,000 m3 ·h-1。
表 4.19:OktaLine 性能數據