由于其簡單、堅固的設計,扇形場質譜儀用于氦氣檢漏儀。它們的質量范圍限制在 2 u(氫分子)和 4 u(氦原子)之間。這使得可以構建小型、緊湊但非常強大的質譜儀。
工作原理
扇形體質譜儀的工作原理如Figure 6.3 所示。
圖 6.3:180° 扇形體質譜儀的工作原理
中性氣體粒子在離子源中通過電子碰撞(圖 6.4 a)進行電離。由此產生的電子具有質量 m 與載荷 q,電子通過電勢梯度U 移向扇形磁場,同時產生動能,。
公式 6-1:動能
即它們以速度 通過扇形場。在這里,電荷是相同的,電子的速度以及通過一定距離所需的時間取決于其質量的大小。這由飛行時間質譜儀直接利用達到分離質量的目的。在扇形場質譜儀中,離子在洛倫茲力產生的均勻磁場中勾勒出圓形路徑,洛倫茲力與速度和磁場垂直,作用在移動離子上。
公式 6-2:洛倫茲力在半徑為 r 的圓形路徑上,洛倫茲力等于向心力。
公式 6-3:力的平衡
這用于計算路徑的半徑
公式 6-4:路徑半徑
用于泄漏探測器的扇形場質譜儀配備了永磁體,該永磁體提供恒定磁場,在圖 6.3 中,其位置與圖像平面垂直。質譜儀以這樣的方式調節:單電荷氦離子s*先通過孔口,然后通過出口狹縫,z*后撞擊探測器。 所有其他分子無法通過狹縫并重新進行中和。測量的氦離子電流與氦分壓成正比。從公式6-4 中可以看出,通過加速電壓 U 可以改變路徑的半徑。實際上,使用不僅僅限于偏轉 4氦,而且還限于將 m / e 之比為2:3 的離子向出口狹縫偏轉,以便檢測氣體氫和 3氦。
在泄漏檢測中,為獲得氦測試氣體的高檢測靈敏度,扇形場質譜儀裝有靈敏探測器。直接的金屬收集器(法拉第杯)不再符合現在的要求,所以現代的泄漏測試儀結合了微通道板,其結構非常緊湊,具有高增益和低噪聲。這些在兩側均具有金屬涂層的玻璃微通道板具有大量的細微通道,這些通道以很微小的角度一直通向端面(圖 6.4 b),且其內表面也有涂層。如果離子撞擊該表面,則觸發二次電子雪崩,且通過施加在板上的電壓向探測器加速。
根據公式 6-4,軌跡半徑與磁場成反比。永磁體的可用材料對磁場強度有限制。這導致氦質譜儀典型的半徑為 10 cm 的量級。為確保離子軌跡不受到碰撞的妨礙,平均路徑長度必須大約是相同的數量級。因此,氦扇形場質譜儀的z*大連續工作壓力大約為 10-5 hPa。