在氣體可在質量過濾器中進行分析之前，它們s*先必須在離子源中通過電子撞擊進行電離（圖 6.6）。電子從電加熱的陰極（金屬絲）中發射出來。在陽極和陰極之間施加電壓，從而使電子加速。存在于陽極和陰極之間形成空間里的中性氣體分子通過電子之間的碰撞發生電離，形成單個和多個正離子。碰撞電子的能量對將要形成的離子數量和類型都有顯著影響。

中性粒子的電離在 10 和 30 eV（表觀電勢）之間z*小的電子能量時開始。隨著電子能量上升（加速電壓），形成的離子數量快速增加，z*多達到 50 至 150 eV，這取決于所涉及的氣體類型，然后隨著能量的繼續上升而緩慢減少。由于離子的產量，且質譜儀的靈敏度因此應盡可能地大，通常使用 70和 100 eV 之間的電子能量。

氣體成分 K 的離子電流 IK+ 可以從以下關系中計算得出：

除了這些類型之外，也可能形成復合離子，如 AC+。各個類型離子的出現及其相對頻率是一定類型分子的特性，并在識別分子中作為重要的輔助手段，因此將其作為定性氣體分析中的一種輔助手段。Figure 6.8 顯示了在電子能量為 70 eV時記錄的簡單分子 CO2 的碎片離子分布（分裂圖型或碎片圖型）。

離子源選擇和z*佳金屬絲材料是基于測量任務所規定的要求。應用通常會對離子源有矛盾的要求。為了達到z*佳的效果，離子源必須與進行中的任務相匹配。這導致開發不同類型的離子源，這些離子源幾乎都可以配備由錸 (Re)、鎢或滴定銥 (Y2O3 / Ir) 制成的陰極。在 UHV 范圍或錸 (Re) 蒸氣壓在其中具有干擾影響的應用中，鎢 (W) 陰極是優選。然而，由于鎢/碳/氧循環導致鎢陰極的易脆性，必須加以考慮；即：由于 W2C 的形成。如今，越來越多地使用滴定銥來代替過去使用的純金屬陰極。這些陰極的優勢是其顯著降低的工作溫度和對空氣侵入的相對不敏感性。因此，使用這些陰極的優選領域是對溫度敏感物質的分析（例如，有機金屬化合物）或是對含有高濃度氧氣的氣體混合物中污染物的分析。