所有離子源的共同特點是它們可以連接至高達 150 V 的電勢。這避免了因 EID 離子導致的信號背景，（EID = 電子碰撞解吸，也稱為：ESD = 電子誘導脫附）。

軸向離子源

該離子源的特點是其極其堅固的機械設計和高靈敏度。由于其開放式結構，它主要用于高真空系統中的殘余氣體分析。Figure 6.6 顯示了軸向離子源的示意圖。

 

陰極 (1) 布置在維納爾電極
(2) 中的孔內，并在一側與該電極相連。
向陽極(3) 加速的電子在形成區域
(4) 中電離氣體分子。正離子通過萃取孔
(5) 到達質量過濾器。由于其相對開放的結構，通過解吸和表面反應，只有輕微的歪曲。