一些上述離子源也可用在氣密版本中。如果只提供少量的樣氣或如果殘余氣體產生的信號背景需要有效地被抑制，則使用氣密離子源。在這種結構中，進氣系統（如加熱毛細管）和離子源必須相互匹配。通過離子源的電導率，流入的氣體體積將確定形成區域中的壓力，該壓力可以是周圍真空室中壓力的倍數。現在，將通過舉例的方式使用軸向離子源說明其工作原理。

將待分析的氣體直接通過處于低電勢的金屬毛細管 (6) 和絕緣管 (5) 引入到形成區域 (4)。由墊圈 (7) 提供絕緣。真空室電導率大約為 1 l/s。