普發真空提供兩種基本的質譜儀型號:
■ 緊湊型 PrismaPlus,具有 6 mm 直徑的桿系統,長度為100 mm。
■ 高分辨率 HiQuad,質量過濾器直徑為 8 mm 和 16 mm,長度為 300 mm。
PrismaPlus這是一個緊湊型設備,其整個電子裝置被連接到分析儀,且可以拆下來進行烘烤。PrismaPlus 提供以下功能:
■ 質量范圍 100、200 和 300 u
■ 法拉第杯和 C-SEM 可用作探測器
■ 可以配備各種離子源和金屬絲
■ 分析儀可以在高達 300°C 的溫度下烘烤PrismaPlus 可用作獨立設備,也可以集成到模塊和分析系統中。
HiQuad這些設備提供z*高的精度,并具有以下特點:
■ 不同的型號涵蓋質量范圍 1–16 u、1–128 u、1–340u、1–300 u、1–512 u、1–1,024 u 和 1–2,048 u。
■ 不同的質量過濾器具有桿直徑:6 mm、8 mm 鉬、8 mm不銹鋼和 16 mm鉬
上述所有離子源幾乎都可以與分析儀相結合。
■ 有用于分析中性粒子以及正負離子 (SIMS) 的離子光學元件。
■ 所有類型的探測器,即:法拉第杯、法拉第杯和 SEM、法拉第杯和 C-SEM 以及離子計數器,可提供各種配置。
■ 這些質譜儀可以憑借輸入/輸出模塊集成到分析系統。