模塊是特殊的過程監控或氣體分析設備，其配備了各種進氣系統并連接到用于排空分析儀的空運行渦輪拖式泵站：
■ HPA 220 高壓分析儀，基于 PrismaPlus。過程壓力可達50 hPa，提供手動和自動進氣系統
■ SPM 220 濺射工藝監控器，基于 PrismaPlus。通過各種進氣口選項，過程壓力可達 10-2 hPa 或 10 hPa
■ SPM 700 濺射工藝監控器，基于 HiQuad。與 SPM 220具有相同的過程壓力
■ EPD 700 用于在氣相蝕刻時檢測正離子，基于 HiQuad。
過程壓力可達 10-2 hPa。