四級桿質譜儀這些裝置單純用作殘余氣體分析儀或工藝氣體分析儀以及泄漏檢測儀。用于在較高壓力下分析混合氣體的進氣系統（包括泄漏檢測）。基于四級桿質譜儀的氣體分析系統可以用作多氣體泄漏探測器。

圖 7.2 中所示泄漏探測器的質譜儀單元也只在低于 10-4 hPa的壓力下工作。在泄漏探測器中，壓力由泄漏探測器的泵系統產生和維持。這不需要任何操作員介入。具有質譜分析儀的泄漏探測器的設計如圖 7.3 中的示意圖所示。

圖 7.3：一般泄漏探測器的流程圖質譜儀（質譜儀單元 (8))，用于質量 2、3 和 4（對應測試氣體 H2, 3He 和 4He，連接至渦輪分子泵（高真空泵 (7)）的入口法蘭。前級泵通過排氣閥 (6) 抽空渦輪分子泵。測試樣本（在 DIN EN 1330-8 也被稱為 “測試對象”）在閥 (3) 打開時通過入口被抽空。閥 (6) 和 (3) 連接的方式是，渦輪分子泵所需的前級真空壓力總是優于測試樣本的抽空。一旦試樣已被抽空，它可以通過閥 (4) 被連接至渦輪分子泵的前級真空或中間級泵，這取決于有關的壓力范圍。現在將測試氣體噴射到來自外部的試樣上，并連同周圍空氣一起通過泄漏滲入試樣中。殘余氣體中的測試氣體通過渦輪分子泵經由閥 (3) 和(6) 向泵送方向相反的方向流動，流入質譜儀單元，并在這被檢測出來。空氣和輕型測試氣體氦不同的壓縮比（相差 10 的多個冪）用于此目的。

雖然渦輪分子泵的高壓縮比保持空氣遠離質譜儀，但輕型氣體以相對較高的分壓抵達這里。渦輪分子泵從而充當氦和氫的選擇性過濾器。這就是為什么即使在壓力 < 10 hPa（對于某些設備來說稍高）時質譜儀也能夠檢測出試樣中的氦和氫的緣故。10 的幾次冪的氦分壓以及在 1 和 10-9 Pa m3 s-1 之間的逆流中泄漏率可通過高真空泵 (4) 中各個中間級泵以及在以指數影響壓縮比的不同速度運行它的方式來涵蓋。必須在泄漏探測器z*高靈敏階段主流中的試樣和探測器中實現10-2 hPa 幾次冪范圍中的壓力（通過閥 (4) 進氣）。

由于上游渦輪分子泵，質譜儀總是在非常低的總壓下工作，從而得到很好的保護，免受污染和破壞。