質譜探測器通過在磁場或電場中分離后進行電離來分離混合氣體，而石英視窗探測器利用氣體不同的滲透性能。

示蹤氣體被傳送到加熱膜片的石英表面。石英膜片的載體層包括有幾千個孔的硅晶片，所有進入氣體的原子和分子可以通過這些孔到達石英膜片。分離本身發生在石英膜片上，膜片只能允許氦穿過，其他氣體則不能穿過。膜片的厚度和溫度是氦測試氣體滲透性的影響因素。在氣體已經穿過膜片后，已經進入的示蹤氣體被電離，且離子電流是泄漏率的度量標準。

該裝置通過真空連接法蘭 (1) 連接至待測試的系統 (6)。連接(3) 可以選擇地連接至附加的真空泵上。為準備泄漏測試，該泵可以抽空該裝置的真空系統，而切斷閥 (9) 仍關閉。

該切斷閥 (9) 在測試時打開。可選的泵在較高系統壓力下可以產生減少傳感器響應時間的氣體流量。

傳感器 (2) 測量真空中氦的分壓。系統上的泄漏檢測(7) 用于確定響應時間和校準裝置。

為保護傳感器及在強信號后清洗裝置，可以進行自動清洗。

閥 (4) 打開，使用大氣簡單地清洗帶有節流閥 (5) 和傳感器的入口。