四級桿質譜儀主要用于分析混合氣體的組成。它們需要高真空范圍內的測試壓力。質譜儀幾乎可以與任何示蹤氣體一起使用，因為它們的使用并不依賴于經典的示蹤氣體氦氣。殘余氣體分析儀無需任何特殊的測試氣體就可以檢測真空系統中的泄漏。它們分析空氣中氣體的質量。

用于示蹤氣體氦氣的檢漏儀目前沒有在四級桿質譜儀的基礎上設計的。它們具有更大的堅實性和長期穩定性以及結果和數據解讀更容易量化， 這些特性導致：在扇形磁場質譜儀基礎上的上述所有質譜檢漏儀主要用于此目的。

具有基于石英視窗傳感器的檢漏儀也用于不需要高靈敏度質譜檢漏儀的應用。具有石英視窗傳感器的裝置使在非常高的測試壓力和高水蒸氣接觸下工作成為可能。