劑量概念導致必須采取措施，避免 AMC 產生的缺陷：
■ 減小壓力
■ 增加溫度
■ 降低接觸時間

由于等待時間是保證晶圓加工靈活性所必需的制造要求，所以減少缺陷的正確方法是在升高的溫度下使 FOUP 和晶圓在真空中出氣，從而增加產量。為獲得 AMC 的控制，關鍵是要在 FOUP 內部對其進行監控，而且，由于受到動態過程的支配，所以必須在生產環節中進行監控。普發真空提供了APA 302 Pod 分析儀作為 AMC 分析的適宜工具。APA 302在兩分鐘內于 ppbv 級別上提供有關總酸量、總胺量、揮發性有機化合物和水蒸氣總量的信息。可以使用空 FOUP 或載有晶圓的 FOUP 完成測量。

圖 8.11：Pod 再生器流程周期一旦已分析 AMC 且已確定其對產量的影響，則必須采取適當的措施來改善情況。為此，普發真空提供了 APR 4300Pod 再生器作為在單次運行中凈化多達四個 FOUP 的有效工具。這項專利機器是基于本章所提出的物理和化學氣體表面相互作用的見解。Pod 分析儀遵循圖 8.11 所描述的真空工藝。在大約五分鐘的個真空調節步驟中，達到了工作壓力。隨后的凈化工藝解吸在表面形成的 AMC，在z*后一個步驟中，FOUP 返回至氣壓。

APR 4300 Pod 再生器通過將產量提高 7% 已經證明了其效率。半導體制造將出現新的挑戰，而且，空氣分子污染的劑量將變得越來越重要。因此，必須對關鍵生產步驟之間氣壓傳輸的替代方式進行開發。在未來解決方案中，真空將確實發揮越來越大的作用。