無油往復活塞式真空泵，又稱干式真空泵，是利用曲軸、連桿機構．來帶動泵缸內的活塞做往復運動，使泵缸內的工作室的容積產生變化。當工作室的容積擴大時。抽(吸)入氣體；當工作室的容積縮小時．被抽(吸)入的氣體出于被壓縮f而排出，如此往復運動．使泵內產生真空，達到輸送的目的。

無油往復活塞式真空泵的構造和原理與往復式壓縮機相同，但它們的目的不同。壓縮機是為了提高氣體的壓強，而w型往復活塞式真窄泵則是為了降低入口氣體的壓強，從而得到盡可能高的真空度。

無油往復活塞式真空泵的構造與往復式壓縮機相同，是由泵體、氣缸、氣閥組件、活塞、活塞桿、十字頭、連桿、曲軸等零件組成。