東北大學機械工程與自動化學院巴德純教授帶領課題組，與中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司合作，開發了多個具有自主知識產權的干式真空泵。產品以“同質低價”的優勢迫使國外產品大幅降價，打破了國外產品長期以來的市場壟斷。產品的應用更為企業新增利潤超億元。

長期以來，干式真空泵的研發與生產一直被英國及德國幾家國際跨國公司壟斷。由于過度依賴進口，對中國芯片產業鏈自給安全構成了嚴重威脅。巴德純與中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司合作，帶領課題組成員進行了近20年系統深入地自主研發和技術創新。目前，課題組先后開發了多個具有自主知識產權、兩大系列10余種型號的干式真空泵。經過權威機構檢測，其核心技術指標達到了國外同類產品的先進水平，但售價僅為對方的70%左右。產品更是以“同質低價”的優勢迫使國外產品大幅降價銷售，打破了國外產品的市場壟斷。　　

據統計，東北大學干式真空泵對水電能耗分別降低31.2%和27.6%，污水處理量減少了99.5%。